저분진성,고속,고정밀도의 장점을 가지고 있는 정밀기기
CGLS16
CGLS21
CGLS26
CGLS33
Linear System을 이용한 Stage (AOI 검사기, Inspection 주로 사용)
XY Stage
Gentry Stage
LMS System
마찰이 없는 고정밀도에 적용되는 기기 (AOI 검사기, Inspection 주로 사용)
Air Bearing System
